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新品推薦 - S20A.R2S一維θz無磁壓電旋轉臺:單向大行程,更強承載

更新時間: 2026-03-23

隨著精密制造和前沿科研的快速迭代,精密角度定位的需求也愈發嚴苛,既要具備納米級的定位精度,也要適配極端工況的使用需求,更要貼合細分場景的個性化操作。在此背景下,芯明天S20A.R2S一維θz無磁壓電旋轉臺,作為S20A系列壓電旋轉臺的新晉核心成員,S20A.R2S基于細分場景需求的精準研發,為半導體制造、精密光學、量子科研等領域,提供高效、穩定的精密角度調整解決方案。

核心產品特點

精準設計,適配專業工況

S20A.R2S壓電旋轉臺延續了無磁壓電定位技術的成熟積累,結合單向角度調整的應用特性,在行程、承載、精度與環境適配性上具有針對性優勢。

01、一維θz無磁結構,杜絕磁場干擾

S20A.R2S采用一維θz軸單向旋轉設計,內部結構與關鍵材質均經過特殊無磁處理,從根源上消除磁場產生與干擾問題。這一設計使其可直接應用于電子束加工、量子實驗等磁場敏感場景。

02、2mrad單向行程,滿足大角度調整需求

S20A.R2S可實現最大2mrad的單向旋轉行程,作為S20A系列的重要拓展,其單向行程與S20A.R1S-C1W的±0.7mrad雙向行程形成精準互補,為單向角度補償、固定姿態設定等場景,提供了更大的操作空間。

03、3kg高承載能力,適配更多場景

在結構設計上進行優化升級,S20A.R2S的額定承載能力達到3kg,可穩定搭載重型光學鏡片、晶圓檢測夾具、精密探針卡等工件。更高的承載能力減少了多臺設備組合使用的成本,也節省了設備安裝空間。

04、納米級精度,保障定位一致性

S20A.R2S的線性度與重復定位精度同樣表現優異,可長期維持納米級的定位穩定性與一致性。無論是長時間的精密檢測,還是高頻次的角度設定,都能精準輸出預設角度,為高精度加工、科研實驗提供可靠的定位保障。

05、復合材質設計,兼顧剛度與輕量化

整體采用不銹鋼+鋁合金復合材質設計:既保障了設備的結構剛度與耐磨性,確保高承載下的運行穩定性;又能實現產品輕量化,讓設備的安裝與集成更加靈活便捷。

技術參數

型號

S20A.R2S/K

運動自由度

θz

驅動控制

1路驅動,1路傳感/1路驅動

標稱旋轉角度(0~120V)

1.6mrad(≈330秒)

Max.旋轉角度(0~150V)

2mrad(≈413秒)

傳感器類型

SGS/-

分辨率

0.04μrad(≈0.01秒)

線性度

0.008%F.S.

重復定位精度

0.01%F.S.

空載諧振頻率

1550Hz

帶載諧振頻率

380Hz@3kg

閉/開環空載階躍時間

30ms@3kg/10ms

靜電容量

19μF

承載能力

3kg

材質

不銹鋼、鋁合金

重量

1520g

適配應用場景

覆蓋多領域精密定位需求

憑借高效、精準的性能設計,S20A.R2S壓電旋轉臺可廣泛應用于多個高端領域的精密定位場景,為各類核心工序提供穩定支撐。

1、半導體制造

晶圓檢測實現晶圓和掩模版的精確對準與定位、芯片鍵合探針卡微小角度調整等;

2、精密光學

真空環境下光路調整、激光加工光學元件角度設定、激光光束的偏轉與穩定等;

3、生物工程

無磁環境下提供樣品在顯微鏡下進行超高精度旋轉與操縱、醫療精密器械定位等;

4、精密計量與檢測

干涉儀、計量儀的單向角度校準,重型精密工件的尺寸檢測定位。

定制化服務:貼合每一個專屬需求

S20A.R2S壓電旋轉臺支持根據客戶的實際應用場景進行個性化開發,無論是行程范圍的微調、安裝接口的定制,還是控制方式的適配,芯明天都將為您提供從需求溝通到方案落地的全流程服務,確保產品與工況完美契合。

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